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超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)

超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)

更新时间:2020-11-24

简要描述:

超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)在半导体和电子、TFT等行业中,由于对纯化水的杂质含量要求已经到了接近理论纯水的级别,防止超纯水箱长期接触空气造成的污染(如:灰尘,细菌,气体,有机物等),并保证工艺用水水质,氮封装置是必不可少的,作为厂务纯水系统管理人员,必须掌握充氮法:即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力,阻止大气与箱内水面接触。

超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)

应用行业:

  在半导体和电子、TFT等行业中,由于对纯化水的杂质含量要求已经到了接近理论纯水的级别,防止超纯水箱长期接触空气造成的污染(如:灰尘,细菌,气体,有机物等),并保证工艺用水水质,氮封装置是必不可少的,作为厂务纯水系统管理人员,必须掌握超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)的原理。

超纯水氮封描述:

  超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)是一种无须外来能源,利用被调介质自身的压力变化达到自动调节和稳定阀后压力为设定值。该阀压力设定在指挥器上实现,方便、快捷,压力设定值在运行中也可随意调整;控制精度高,可比一般ZZY型直接操作自力式压力调节阀高,适合于控制精度要求高的场合。它广泛应用于氮封水箱系统氮气保护自动调节装置。

下图是超纯水氮封(ZZYVP氮封阀)一般工作原理图:

  氮封装置由供氮装置和泄氮装置两部分组成。供氮装置由指挥器和主阀两部分组成;泄氮装置由内反馈的压开型微压调节阀组成。氮气压力一般设为100mmH2O.通过氮封装置精确控制 。
    当水箱上游水泵开启,向超纯水水箱补水时,水箱水位上升,气相部分容积减小,压力升高,当水箱上部气体空间压力升至高于泄氮装置压力设定值时,泄氮装置打开,向外界释放氮气,使罐内压力下降,当降至泄氮装置压力设定点时,泄氮装置自动关闭。
    当水箱后级水泵开启,用户端开始用水时,液面下降,气相部分容积增大,罐内压力降低,供氮装置开启,向储罐注入氮气,使罐内压力上升,当罐内压力上升至供氮装置自动关闭。 

1.供氮装置工作原理:

    供氮装置结构如图所示,将设在罐顶的取压点的介质经导压管引入检测机构(7)、介质在检测元件上产生一个作用力与弹簧(8)、预紧力相平衡。当罐内压力降低至低于供氮装置压力设定点时,平衡被破坏,使指挥器阀芯(6)打开,从而使阀前气体经减压阀(5)、节流阀(4)、进入主阀执行机构(3)上、下膜室,打主开阀阀芯(2)、向罐内充注氮气;当罐内压力升至供氮装置压力设定点时,由于预设弹簧力,关闭指挥器阀芯(6)又由于主阀执行机构中弹簧作用,关闭主阀,停止供氮。

2.泄氮装置工作原理:

    泄氮装置结构如右图所示,该装置采用内反馈结构,介质直接经阀盖进入检测机构(2),介质在检测元件上产生一个作用力与预设弹簧(3)预紧力相平衡。当罐内压力升高至高于泄氮装置压力设定点时,平衡被破坏,使阀芯(1)上移,打开阀门,向外界泄放氮气;当罐内压力降至泄氮装置压力设定点时,由于预设弹簧力作用,关闭阀门。

说明:

 一般供氮气压力在3×10^5-10×10^5Pa之间,罐顶呼吸阀仅起安全作用,是在主阀失灵,导致罐内压力过高或过低时,起到安全作用,在正常情况下不工作,泄氮阀安装在罐顶,口径一般与进液阀口径*,一般泄氮阀的压力设定点略大于供氮阀的压力设定点,以免供、泄氮装置频繁工作,浪费氮气、影响设备的使用寿命

在超纯水系统中,超纯水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式进行,即从水箱上部气体空间引出单独的管道,末端浸入水槽液面中,液面高度根据水箱上部气体空间允许的最大正压确定,也可以实现泄氮功能且比较经济。

解决超纯水与空气接触的常用方法:
1、充氮法:即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力,阻止大气与箱内水面接触。
2、薄膜袋法:即在在水箱内设置袋状薄膜覆盖于水面上,薄膜袋随水位升降,减少水面与空气接触面积。
3、浮顶法:即以密度比水轻的轻质材料在水箱内制成整块板状浮顶浮于水面,并用轻质弹性材料(如海绵、发泡塑料等)遮盖浮顶与箱间的间隙,浮顶随水面升降。从而减少空气与水面的接触机会。
在上述三种方法中又以氮封水箱常见,实施简单,效果好。

 

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